电子探针X射线微区分析

　　电子探针X射线微区分析（electron probe X-ray microanalysis），用聚焦极细的电子束轰击固体的表面，并根据微区内所发射出X射线的波长（或能量）和强度进行定性和定量分析的方法。

　　仪器　主要组成部分为：①电子光学系统。其功能是产生电子并使它聚焦于试样表面。包括图中1、2、3、4部分。②样品室、附移动机构，可把待测点置于电子束之下。③光学显微镜。用于选择待测区和观察电子束轰击试样。④X射线分光计。分辨不同波长（或能量）的特征。⑤电子信号探测器。⑥计数、记录系统。⑦图像显示系统。⑧电源和真空系统。真空系统使电子光学系统，样品室和X射线分光计处于高真空状态。⑨电子计算机。

　　特点和功能　①可以在不损伤原样的情况下，直接在磨光的样品表面随意选点，最小分析体积约1立方微米。②可分析元素周期表中从铍至铀的所有元素。定量分析的相对误差低于±2％，常规分析的检出限为0.05％～0.01％。③利用元素的X射线强度变化曲线和图像及等值线图可研究元素的分布状况。④利用二次电子图像，反向散射电子图像和样品电流图像可显示试样表面形貌和组成的变化。⑤可观察试样的电子荧光并进行某些晶体化学研究。

　　应用　①在金属学上，用于测定合金、金属间化合物、偏析、夹杂和脱溶物的组成，研究结晶过程中原子的迁移，了解杂质或合金原子在晶界、亚晶界和晶粒内部的分配，考察金属在气相或液相介质中腐蚀和氧化的机理，测定金属渗层、镀层厚度和组成，观察试样中元素的分布。②在岩石矿物方面，可用于鉴定微粒矿物和细小包体，研究矿物内部的化学均匀性和元素的地球化学特性等。③在材料科学方面，普遍用于分析研究微电子元、器件中的杂质和缺陷。④在化工方面，用于对催化剂、颜料和腐蚀物的分析。⑤在医学和生物学方面，用于分析人类和生物的骨骼、牙齿、硅肺、肾结石、头发等，以及跟踪毒性元素在生物体内的分布。⑥在大气科学方面，用于逐粒测定飘尘的成分。