电子显微镜

　　电子显微镜（electron microscope），用电子束代替光学显微镜的光束来放大样品图像的显微镜。高速电子束波长比光波波长短几个数量级，因而电子束具有更高分辨率。1931年第一台透射电子显微镜问世。经过发展，电子显微镜已能观察原子在晶体中的排列和看到单个重原子在载膜上的迁移。电子显微镜由电子枪、电子透镜、试样台、图像显示和真空系统等组成，可分为4类：①透射电子显微镜。其加速电压为几万至十万伏，成像方式与光学显微镜相似，放大后的电子图像在荧光屏上显示，也可用照相方法记录，放大倍数可达100万倍，用于放大图像和进行元素和晶体结构分析。②扫描电子显微镜。利用偏转器使电子束斑在样品表面上进行光栅扫描，收集被扫描表面上发出的次级电子，用次级电子流强度来调制同步扫描的显像管的亮度，以直接观察固体表面形貌。其分辨本领达30～60埃。③扫描透射电子显微镜。其成像方式与扫描电子显微镜相似，但接收的不是次级电子而是透过极薄样品的透射电子。分辨本领达3埃。④超高压电子显微镜。采用300万伏的加速电压。分辨本领达1.5埃。用于观察金属、矿物和其他晶体样品中的原子排列。